Browsing by Author Демидович, С. А.
Showing results 1 to 4 of 4
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2023 | Исследование возможностей получения устойчивых микроэлектромеханических систем путем управления внутренними механическими напряжениями в нитриде кремния | Демидович, С. А. |
| 2022 | Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки | Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В. |
| 2024 | Особенности нанесения пленок SiNx методом ICP CVD в области повышенного давления | Демидович, С. А.; Юник, А. Д. |
| 2024 | Управление механическими напряжениями в пленках SiNx при осаждении из смеси SiH4-NH3-He в индуктивно-связанной плазме | Ковальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н. |
