Issue Date | Title | Author(s) |
2023 | Влияние расстояния мишень – подложка на равномерность толщины пленок тантала, наносимых цилиндрической магнетронной распылительной системой | Чан, Д. Н. Х.; Доан, Х. Т. |
2023 | Влияние способа подачи газов в камеру на процессы реактивного магнетронного распыления Ti-Al составной мишени | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Джанг, Дж.; Кананович, Н. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н. |
2023 | Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Джанг, Дж.; Кананович, Н. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н. |
2022 | Влияние тонкопленочных покрытий SiO2:Me на эффективность фотогенерирующих элементов | Бойко, А. А.; Зализный, Д. И.; Аль-Камали, М. Ф. С.; Подденежный, Е. Н.; Алексеенко, Ю. А.; Дробышевская, Н. Е.; Аль-Арекуи, Н. А. С.; Голосов, Д. А.; Доан, Х. Т. |
2022 | Высоковакуумное реактивное магнетронное нанесение пленок оксида алюминия | Доан, Х. Т. |
2023 | Модель процесса реактивного магнетронного распыления двухкомпонентной составной мишени | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Джанг, Дж.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Нгуен, Т. Д. |
2022 | Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Бурдовицин, В. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н. |
2023 | Применение оптической эмиссионной спектроскопии для прогнозирования состава пленок при реактивном магнетронном распылении Ti-Al составных мишеней | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Джанг, Дз.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М. |
2022 | Формирование композиционных покрытий ионно-лучевым распылением мишеней на основе микропорошков пирогенного кремнезёма, содержащих соединения меди | Аль-Камали, М. Ф. С.Х.; Бойко, А. А.; Голосов, Д. А.; Доан, Х. Т.; Михалко, А. М. |