Browsing by Author Омельченко, А. А.
Showing results 1 to 4 of 4
Issue Date | Title | Author(s) |
2017 | Влияние быстрой термообработки на оптические параметры кремния | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Омельченко, А. А.; Жигулин, Д. В.; Петлицкая, Т. В.; Соловьев, Я. А. |
2022 | Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки | Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В. |
2023 | Механизм формирования фиксированного заряда в слое SiO2, полученном термическим окислением кремния | Пилипенко, В. А.; Омельченко, А. А. |
2021 | Формирование подзатворного диэлектрика нанометровой толщины методом быстрой термообработки | Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Шестовский, Д. В. |