Browsing by Author Сенько, С. Ф.
Showing results 1 to 6 of 6
Issue Date | Title | Author(s) |
2007 | Влияние режимов формирования полиимидной пленки на электрофизические характеристики многоуровневой металлизации субмикронных БИС | Сенько, С. Ф.; Емельянов, А. В. |
2018 | Количественный контроль топографических дефектов полупроводниковых пластин кремния | Сенько, С. Ф.; Сенько, А. С.; Зеленин, В. А. |
2015 | Конденсатор для интегральной микросхемы | Хмыль, А. А.; Емельянов, А. В.; Алиева, Н. В.; Емельянов, В. А.; Трусов, В. Л.; Шикуло, В. Е.; Сенько, С. Ф. |
2013 | Конденсатор для интегральных микросхем | Хмыль, А. А.; Емельянов, А. В.; Алиева, Н. В.; Емельянов, В. А.; Трусов, В. Л.; Шикуло, В. Е.; Сенько, С. Ф. |
2015 | Способ изготовления конденсатора для интегральной микросхемы | Хмыль, А. А.; Емельянов, А. В.; Алиева, Н. В.; Емельянов, В. А.; Трусов, В. Л.; Шикуло, В. Е.; Сенько, С. Ф. |
2003 | Цветовая диагностика топографических дефектов | Сенько, С. Ф.; Сенько, А. С. |