Issue Date | Title | Author(s) |
2024 | Влияние быстрой термообработки при формировании контактов алюминий-поликремний на электрические параметры КМОП микросхем | Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В. |
2020 | Влияние температуры быстрой термической обработки на электрофизические свойства пленок никеля на кремнии | Соловьёв, Я. А.; Пилипенко, В. А. |
2022 | Влияние термической нагрузки при формировании контактов al-al на электрические параметры интегральных микросхем с контактами алюминий-поликремний | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В. |
2022 | Влияние условий быстрого термического отжига на величину удельного сопротивления омических контактов металлизации Ti/Al/Ni/Au к гетероструктуре GaN/AlGaN | Юник, А. Д.; Соловьёв, Я. А. |
2020 | Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» | Соловьёв, Я. А.; Пилипенко, В. А.; Яковлев, В. П. |
2023 | Оптические, механические и электрические характеристики теплового неохлаждаемого детектора болометрического типа на основе оксида ванадия | Чан Ван Чиеу; Корсак, К. В.; Новиков, П. Э.; Ловшенко, И. Ю.; Завадский, С. М.; Голосов, Д. А.; Степанов, А. А.; Губаревич, А. А.; Колос, В. В.; Соловьёв, Я. А.; Левчук, Д. С.; Стемпицкий, В. Р. |
2024 | Особенности структурно-фазовых превращений в слоях сплава Ni–Pt–V на кремнии при быстрой термической обработке | Соловьёв, Я. А.; Гайдук, П. И. |
2009 | Разработка технологических процессов создания солнечных элементов с контактами на основе силицида никеля | Коробко, А. О.; Соловьёв, Я. А.; Кайдов, О. Л.; Глухманчук, В. В.; Достанко, А. П. |
2022 | Специальные материалы и субмикронные компоненты. Лабораторный практикум : пособие | Соловьёв, Я. А.; Шахлевич, Г. М.; Петлицкий, А. Н. |
2020 | Структура и морфология слоев CrSi 2, сформированных при быстрой термообработке | Соловьёв, Я. А.; Пилипенко, В. А.; Гайдук, П. И. |
2019 | Фемтосекундное лазерное скрайбирование сапфира на длинах волн 1040 и 520 нм | Шуленкова, В. А.; Луценко, Е. В.; Данильчик, А. В.; Соловьёв, Я. А.; Петлицкий, А. Н.; Киросирова, М. В. |
2022 | Электрические и электронные компоненты устройств и систем. Лабораторный практикум : пособие | Хорошко, В. В.; Боровиков, С. М.; Фещенко, А. А.; Соловьёв, Я. А. |