Browsing by Author Шестовский, Д. В.
Showing results 1 to 5 of 5
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2024 | Влияние быстрой термообработки при формировании контактов алюминий-поликремний на электрические параметры КМОП микросхем | Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В. |
| 2024 | Влияние рекристаллизации механически нарушенного слоя с рабочей стороны кремниевой пластины на электрические параметры КМОП интегральных микросхем | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Сергейчик, А. А.; Шестовский, Д. В. |
| 2022 | Влияние термической нагрузки при формировании контактов al-al на электрические параметры интегральных микросхем с контактами алюминий-поликремний | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В. |
| 2022 | Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки | Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В. |
| 2021 | Формирование подзатворного диэлектрика нанометровой толщины методом быстрой термообработки | Ковальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Шестовский, Д. В. |
