https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11099| Title: | Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники |
| Authors: | Достанко, А. П. Аваков, С. М. Агеев, О. А. Батура, М. П. Бордусов, С. В. Джуплин, В. Н. Завадский, С. М. Клим, О. В. Ланин, В. Л. Мадвейко, С. И. Голосов, Д. А. Мельников, С. Н. Петухов, И. Б. Ретюхин, Г. Е. Русецкий, А. М. Титко, Д. С. Томаль, В. С Трапашко, Г. А. Чередниченко, С. Б Школык, Д. И. |
| Keywords: | публикации ученых |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Беларуская навука |
| Citation: | Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники: монография / А. П. Достанко [и др.]. – Минск : Беларуская навука, 2016. – 251 с. |
| Abstract: | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11099 |
| ISBN: | 978-985-08-1993-2 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 120920.docx | 14.6 kB | Microsoft Word XML | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.