https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11114| Title: | Нанопористый анодный оксид алюминия в конструкции газовых микросенсоров |
| Authors: | Горох, Г. Г. Захлебаева, А. И. Плескачевский, Ю. М. Реутская, О. Г. Таратын, И. А. Хатько, В. В. |
| Keywords: | публикации ученых;пористый анодный оксид алюминия;электрохимическое анодирование;микромеханическая обработка;газочувствительные металлооксиды;высокочувствительные микросенсоры;porous anodic alumina;electrochemical anodic oxidation;micromachining;gas-sensitive metal oxides;highly sensitive;microsensors |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Беларуская навука |
| Citation: | Нанопористый анодный оксид алюминия в конструкции газовых микросенсоров / Г. Г. Горох и др. // Наноструктурные материалы–2016 – Беларусь–Россия–Украина: Материалы V Международной научной конференции, Минск, 22–25 ноября, 2016 г. – Минск : Беларуская навука, 2016. – С. 67 – 69. |
| Abstract: | Проведен анализ методов формирования газовых микросенсоров. Представлена методика формирования высокочувствительных газовых микросенсоров на нанопористых подложках из анодного оксида алюминия. |
| Alternative abstract: | The methods of the formation of gas microsensors were analysed. The technique of formation of highly sensitive gas microsensors on nanoporous substrates of anodic alumina was presented. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11114 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.