| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Захлебаева, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Реутская, О. Г. | - |
| dc.contributor.author | Горох, Г. Г. | - |
| dc.contributor.author | Таратын, И. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-01-03T09:16:21Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-27T11:59:28Z | - |
| dc.date.available | 2017-01-03T09:16:21Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-27T11:59:28Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Захлебаева, А. И. Полупроводниковая двухсенсорная микросистема на наноструктурированной подложке для определения концентрации газов в окружающей среде / А. И. Захлебаева и другие // Фуллерены и наноструктуры в конденсированных средах: сборник научных статей. – Минск, 2016. - С. 484–490. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11116 | - |
| dc.description.abstract | Разработана конструкция и технология изготовления двухсенсорной газовой микросистемы на подложке из нанопористого анодного оксида алюминия. Исследованы электрофизические характеристики разработанной микросистемы, получены отклики к воздействию активных газов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Институт тепло- и массообмена Национальной академии наук Беларуси | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | пористый анодный оксид алюминия | ru_RU |
| dc.subject | электрохимическое анодирование | ru_RU |
| dc.subject | микромеханическая обработка | ru_RU |
| dc.subject | газочувствительные металлооксиды | ru_RU |
| dc.subject | двухсенсорная мкросистема | ru_RU |
| dc.subject | porous anodic alumina | ru_RU |
| dc.subject | electrochemical anodic oxidation | ru_RU |
| dc.subject | micromachining | ru_RU |
| dc.subject | gas-sensitive metal oxides | ru_RU |
| dc.subject | dualsensors microsystem | ru_RU |
| dc.title | Полупроводниковая двухсенсорная микросистема на наноструктурированной подложке для определения концентрации газов в окружающей среде | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | Design and manufacturing technology of dualsensor gas microsystems on nanoporous anodic alumina were developed. The electrical characteristics of the developed microsystem and responses to the gases were received. | - |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
