Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11131
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЕрмоленко, М. В.-
dc.contributor.authorЗавадский, С. М.-
dc.contributor.authorГолосов, Д. А.-
dc.contributor.authorМельников, С. Н.-
dc.contributor.authorЗамбург, Е. Г.-
dc.date.accessioned2017-01-03T12:23:44Z-
dc.date.accessioned2017-07-27T11:59:44Z-
dc.date.available2017-01-03T12:23:44Z-
dc.date.available2017-07-27T11:59:44Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationЕрмоленко, М. В. Трибологические характеристики покрытий TiN, полученные методом реак-тивного магнетронного распыления при пониженном давлении / М. В. Ермоленко и другие // Трение и износ. - 2016. - Том 37, № 3. - С. 289–292.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11131-
dc.description.abstractИсследовалось влияние режимов нанесения на трибологические характеристики тонкоплёночных слоёв нитрида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления. Были получены зависимости твёрдости, ширины дорожки трения, коэффициента трения и объёмного износа слоёв TiN от потока реактивного газа N2. Установлены условия нанесения, при которых формируются покрытия с наилучшими триботехническими параметрами.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherИММС НАН Беларусиru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectмагнетронное нанесениеru_RU
dc.subjectнитрид титанаru_RU
dc.subjectтвердостьru_RU
dc.subjectmagnetron sputteringru_RU
dc.subjecttitanium nitrideru_RU
dc.subjecthardnessru_RU
dc.subjectfriction coefficientru_RU
dc.titleТрибологические характеристики покрытий TiN, полученные методом реак-тивного магнетронного распыления при пониженном давленииru_RU
dc.title.alternativeTribological behavior of TiN films depositid by reactive magnetron sputtering under low pressureru_RU
dc.typeArticleru_RU
local.description.annotationInfluence of coating modes on the tribological characteristics of thin-film layers of titanium nitride deposited by reactive magnetron sputtering under low pressure is studied. Dependences of hardness, friction track width, coefficient of friction and volume wear of TiN layers on reactive gas stream N2 are obtained. The sputtering conditions required for formation of a coating with optimal tribotechnical properties are established.-
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
110911.docx14 kBMicrosoft Word XMLView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.