Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках

Захлебаева, А. И.; Реутская, О. Г.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Захлебаева, А. И.	-
dc.contributor.author	Реутская, О. Г.	-
dc.date.accessioned	2017-01-04T06:44:31Z	-
dc.date.accessioned	2017-07-27T11:59:42Z	-
dc.date.available	2017-01-04T06:44:31Z	-
dc.date.available	2017-07-27T11:59:42Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Захлебаева, А. И. Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках / А. И. Захлебаева, О. Г. Реутская // V Всероссийский конгресс молодых ученых: сборник тезисов докладов, электронное издание, Санкт-Петербург, (12–15 апреля 2016 г.). - Санкт-Петербург : ИТМО, 2016. - 2 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11144	-
dc.description.abstract	Разработана технология формирования газового сенсора и двухсенсорной газовой микросистемы на диэлектрических подложках из анодного оксида алюминия. Исследованы отклики изготовленной микросистемы к газам CO, C3H8 и NO2. Использование подложек из наноструктурированного оксида алюминия позволяет формировать газовые микросистемы на одном кристалле, сохраняя размеры одиночного сенсора, а также снизить потребляемую мощность и обеспечить долговременную работоспособность микросистем.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	ИТМО	ru_RU
dc.subject	публикации ученых	ru_RU
dc.subject	анодный оксид алюминия	ru_RU
dc.subject	наноструктурированные подложки	ru_RU
dc.subject	полупроводниковые химические сенсоры	ru_RU
dc.subject	сенсорные микросистемы	ru_RU
dc.title	Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU
Appears in Collections:	Публикации в зарубежных изданиях