| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Окоджи, Д. Э. | - |
| dc.contributor.author | Рубан, Г. М. | - |
| dc.contributor.author | Котинго, Д. Д. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-03-30T09:07:46Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-27T11:59:40Z | - |
| dc.date.available | 2017-03-30T09:07:46Z | |
| dc.date.available | 2017-07-27T11:59:40Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Мельников, С. Н. Применение сквозного моделирования при проектировании систем магнетронного распыления / С. Н. Мельников и другие // Материалы IV международной научной конференции «Проблемы взаимодействия излучения с веществом», 9–11 ноября 2016 г.: в 2 частях. Ч. 2. – Гомель : ГГУ им.Ф.Скорины, 2016. – С. 245 - 250. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12454 | - |
| dc.description.abstract | Разработаны методы компьютерного моделирования для проектирования систем и процессов магнетронного распыления, которые позволяют проводить сквозное моделирование систем магнетронного нанесения от этапа создания магнитной системы магнетрона до формирования покрытия на поверхности подложки. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ГГУ им.Ф.Скорины | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.subject | моделирование | ru_RU |
| dc.subject | электромагнитное поле | ru_RU |
| dc.subject | мишень | ru_RU |
| dc.subject | подложка | ru_RU |
| dc.subject | magnetron sputtering | ru_RU |
| dc.subject | simulation | ru_RU |
| dc.subject | electromagnetic field | ru_RU |
| dc.subject | target | ru_RU |
| dc.subject | substrate | ru_RU |
| dc.title | Применение сквозного моделирования при проектировании систем магнетронного распыления | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | Methods of computer modeling are developed for design of systems and processes of magnetron dispersion which allow to carry out through modeling of systems of magnetron drawing from a stage of creation of magnetic system of the magnetron to formation of a covering on a substrate surface. | - |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
