https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12606
Title: | Применение метода самораспространяющегося высокотемпературного синтеза для получения пористых вакуумных вставок планшайб оборудования электронного машиностроения |
Other Titles: | Application of the method of self-extending high-temperature synthesis for receiving porous vacuum inserts of faceplates of electronic mechanical engineering equipment |
Authors: | Тумилович, М. В. Пилиневич, Л. П. Тарайкович, А. М. Толстик, В. Е. Шеко, Г. А. |
Keywords: | доклады БГУИР;порошковая металлургия;оксинитрид титана;powder metallurgy;oxynitride of the titan |
Issue Date: | 2017 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Применение метода самораспространяющегося высокотемпературного синтеза для получения пористых вакуумных вставок планшайб оборудования электронного машиностроения / М. В. Тумилович [и др.] // Доклады БГУИР. - 2017. - № 2 (104). - С. 5 - 10. |
Abstract: | Приведены результаты исследования процесса получения методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза пористых вакуумных вставок планшайб, используемых при производстве полупроводниковых кремниевых пластин на предприятиях электронного машиностроения. |
Alternative abstract: | There are given the results of research the process of receiving by method of self-extending high- temperature synthesis of porous vacuum inserts of the faceplates used by production of semiconductor silicon plates at the enterprises of electronic mechanical engineering. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12606 |
Appears in Collections: | №2 (104) |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Tumilovich_Primeneniye.PDF | 1.05 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.