| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Титко, Д. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-06-07T09:33:27Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T12:16:42Z | - |
| dc.date.available | 2017-06-07T09:33:27Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T12:16:42Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Титко, Д. С. Метод автоматизированного контроля топологии планарных структур / Д. С. Титко // Компьютерные системы и сети : материалы 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 2–6 мая 2017 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2017. – С. 152–153. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/13152 | - |
| dc.description.abstract | Рассматривается метод автоматизированного контроля топологии планарных структур основанный на системе
динамического автосовмещения реального и эталонного изображений, который позволяет получить гарантированную
устойчивость автосовмещения с запасом удовлетворяющим потребностям установок контроля топологий ЭМ-6029Б и
ЭМ-6329. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | динамическое автосовмещение | ru_RU |
| dc.subject | многоканальный компаратор | ru_RU |
| dc.title | Метод автоматизированного контроля топологии планарных структур | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2017)
|
