https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1326| Title: | Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитах |
| Other Titles: | Photolithography of film structures xerogel/porous anodic alumina prepared in various electrolytes |
| Authors: | Хорошко, Л. С. Ашариф, А. М. Ореховская, Т. И. Меледина, М. В. Сокол, В. А. Колосницын, Б. С. Гапоненко, Н. В. |
| Keywords: | доклады БГУИР;пористый анодный оксид алюминия;золь-гель;фотолитография |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитах / Л. С. Хорошко [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2014. - № 3 (81). - С. 101 - 105. |
| Abstract: | Приведены результаты исследования морфологии микроструктурированных пленок пористого анодного оксида алюминия, сформированных с применением электрохимического анодирования, золь-гель синтеза, фотолитографии и химического травления. Для выполнения фотолитографии защитная металлическая маска не использовалась за счет формирования сплошной пленки ксерогеля. Обсуждаются перспективы применения таких структур в планарной оптоэлектронике и фотокатализе. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1326 |
| Appears in Collections: | №3 (81) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Khoroshko_Fotolitografiya.pdf | 835.14 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.