Расчет параметров элементов интегральных микросхем : учебно-методическое пособие

Abstract

Рассмотрены методы проектирования и расчета таких пассивных элементов ИМС, как тонкопленочные и диффузионные резисторы, конденсаторы, индуктивности, интегрированные диоды, а также особенности проектирования биполярных структур ИМС. Приведены методики расчета пленочных резисторов, конденсаторов, индуктивностей, проводников и контактных площадок. Рекомендовано для студентов всех форм обучения по дисциплине «Полупроводниковые приборы и элементы интегральных микросхем».