| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Титко, Д. С. | - |
| dc.contributor.author | Титко, Е. А. | - |
| dc.contributor.author | Дайняк, И. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-11-14T06:51:39Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-19T09:26:40Z | - |
| dc.date.available | 2014-11-14T06:51:39Z | |
| dc.date.available | 2017-07-19T09:26:40Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Титко, Д. С. Алгоритм выбора метода автоматического контроля топологии планарных структур. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 170-171 | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-038-5 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1439 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | планарная структура | ru_RU |
| dc.subject | дефект | ru_RU |
| dc.subject | топология | ru_RU |
| dc.title | Алгоритм выбора метода автоматического контроля топологии планарных структур | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»
|
