| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Дайняк, И. В. | - |
| dc.contributor.author | Жарский, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Карпович, С. Е. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-11-19T11:57:26Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-13T06:06:03Z | - |
| dc.date.available | 2014-11-19T11:57:26Z | |
| dc.date.available | 2017-07-13T06:06:03Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.citation | Дайняк, И. В. Траекторное управление координатными системами субмикронного оборудования микроэлектроники / И. В. Дайняк, В. В. Жарский, С. Е. Карпович // Доклады БГУИР. - 2013. - № 4 (74). - С. 38 - 42. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1527 | - |
| dc.description.abstract | Проанализированы измерительные средства, используемые при формировании программируемых движений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники.
Предложена структура системы траекторного управления на основе подходов аппаратно-
программного моделирования и верификации в режиме реального времени. Приведены результаты использования предложенной системы траекторного управления в координатных
системах перемещений прецизионного оборудования. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | координатная система | ru_RU |
| dc.subject | система траекторного управления | ru_RU |
| dc.subject | прецизионное оборудование | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.title | Траекторное управление координатными системами субмикронного оборудования микроэлектроники | ru_RU |
| dc.title.alternative | Trajectory control of coordinate systems of submicron mi- croelectronics equipment | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | №4 (74)
|
