Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБордусов, С. В.-
dc.contributor.authorМадвейко, С. И.-
dc.contributor.authorДостанко, А. П.-
dc.date.accessioned2014-11-25T08:19:28Z
dc.date.accessioned2017-07-19T09:26:42Z-
dc.date.available2014-11-25T08:19:28Z
dc.date.available2017-07-19T09:26:42Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationБордусов, С. В. Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 192-193ru_RU
dc.identifier.isbn978-985-543-038-5-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674-
dc.description.abstractПредставлены результаты исследований процесса СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин, который заключается в предварительном нагреве полупроводниковых пластин СВЧ энергией.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectСВЧ разрядru_RU
dc.subjectСВЧ плазмохимическая обработкаru_RU
dc.titleПроцесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластинru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
процесс.pdf377.14 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.