| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Бурмаков, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Кулешов, В. Н. | - |
| dc.contributor.author | Прокопчик, К. Ю. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-11-25T12:36:42Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-19T09:26:41Z | - |
| dc.date.available | 2014-11-25T12:36:42Z | |
| dc.date.available | 2017-07-19T09:26:41Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Бурмаков, А. П. Установка комбинированного магнетронно-лазерного осаждения пленочных покрытий. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 164-165 | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-038-5 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1711 | - |
| dc.description.abstract | Рассматривается структура установки для формирования и исследования комбинированного плазменного потока, образованного магнетронным распылителем и одновременным частотно-импульсным лазерным воздействием на различные материалы в газах низкого давления. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.subject | осаждение пленок | ru_RU |
| dc.title | Установка комбинированного магнетронно-лазерного осаждения пленочных покрытий | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»
|
