Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1954
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorТымощик, А. С.-
dc.contributor.authorЧерных, А. Г.-
dc.contributor.authorВолчек, С. А.-
dc.date.accessioned2014-12-04T14:18:06Z-
dc.date.accessioned2017-07-12T11:44:34Z-
dc.date.available2014-12-04T14:18:06Z-
dc.date.available2017-07-12T11:44:34Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationТымощик, А. С. Методы повышения надежности омических контактов в дисплейных МЭМС на основе алюмооксидной технологии / А. С. Тымощик, А. Г. Черных, С. А. Волчек // Доклады БГУИР. - 2011. - № 4 (58). - С. 63 - 68.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1954-
dc.description.abstractВ работе рассматриваются вопросы повышения надежности омических контактов металлических слоев к мелкозалегающим p–n-переходам при высокой интеграции дисплейных оптических МЭМС-элементов, изготавливаемых по алюмооксидной технологии с управляющей схемой на едином кристалле. Показано, что добавки редкоземельных металлов, в частности гольмия, в кремнийсодержащие пленки алюминия оказывают на них модифицирующее действие. Введение редкоземельных металлов резко снижает вероятность образования ямок травления, делая возможным создание контактов к мелкозалегающим p–n-переходам с малыми размерами контактного окна.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectдоклады БГУИРru_RU
dc.subjectалюмооксидная технологияru_RU
dc.subjectсплавы алюминияru_RU
dc.subjectредкоземельные металлыru_RU
dc.subjectмикродисплейные устройстваru_RU
dc.subjectомический контактru_RU
dc.titleМетоды повышения надежности омических контактов в дисплейных МЭМС на основе алюмооксидной технологииru_RU
dc.title.alternativeMethods of increasing of ohmic contacts reliability for displeys mems on a basis of aluminum–oxide technologyru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:№4 (58)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tymoshchik_Metody.PDF2.48 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.