| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Ануфриев, Л. П. | - |
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Глухманчук, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Кайдов, О. Л. | - |
| dc.contributor.author | Коробко, А. О. | - |
| dc.contributor.author | Гвоздевич, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Сивец, В. И. | - |
| dc.contributor.author | Шамягин, В. П. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-12-19T12:13:46Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-13T11:06:08Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-19T12:13:46Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-13T11:06:08Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Емельянов, В. А. Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 2 / В. А. Емельянов и др.; под ред. А. П. Достанко. – Минск : Интегралполиграф, 2007. – 60 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2329 | - |
| dc.description.abstract | Лабораторный практикум включает исследования процессов формирования легированных слоев в кремнии ионной имплантацией на установке «ЛАДА-30», эпитаксиальных слоев кремниевых структур и контроля их параметров, технологии изготовления биполярных транзисторов и контроля их параметров.
Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров кремниевых структур. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Интегралполиграф | ru_RU |
| dc.subject | лабораторные практикумы | ru_RU |
| dc.subject | изделия интегральной электроники | ru_RU |
| dc.subject | технологическое оборудование | ru_RU |
| dc.title | Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 2 | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии
|
