| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Ануфриев, Л. П. | - |
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Бордусов, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Гурский, Л. И. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Турцевич, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Соловьев, Я. А. | - |
| dc.contributor.author | Портнов, Л. Я. | - |
| dc.contributor.author | Коробко, А. О. | - |
| dc.contributor.author | Король, И. П. | - |
| dc.contributor.author | Борисик, А. В. | - |
| dc.contributor.author | Осипов, А. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-12-19T12:22:20Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-13T11:06:08Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-19T12:22:20Z | |
| dc.date.available | 2017-07-13T11:06:08Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Емельянов, В. А. Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3. / В. А. Емельянов и др.; под ред. А. П. Достанко. – Минск : Интегралполиграф, 2007. –76 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330 | - |
| dc.description.abstract | Лабораторный практикум включает в себя исследования процессов формирования конфигурации элементов интегральных схем на поверхности полупроводниковых пластин проекционной литографией на установке ЭМ 584А, процессов ионно-лучевого, термовакуумного, катодного, магнетронного нанесения тонких пленок, а также герметизации интегральных схем в пластмассовые корпуса .
Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров кремниевых структур. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Интегралполиграф | ru_RU |
| dc.subject | лабораторные практикумы | ru_RU |
| dc.subject | изделия интегральной электроники | ru_RU |
| dc.subject | технологическое оборудование | ru_RU |
| dc.title | Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3. | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии
|
