https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25775
Title: | Особенности электрохимического анодного окисления композиций Al-V-Cu на кремниевых подложках |
Authors: | Щадинская, Д. А. |
Keywords: | материалы конференций;Al-V-Cu;электрохимическое анодное окисление;кремниевые подложки |
Issue Date: | 2017 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Щадинская, Д. А. Особенности электрохимического анодного окисления композиций Al-V-Cu на кремниевых подложках / Д. А. Щадинская // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : сборник материалов 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 2–6 мая 2017 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2017. – С. 89–90. |
Abstract: | Разработана методика формирования проницаемых структур с металлическим подслоем, основанная на двухстадийном анодировании тонкоплёночной системы Al-V-Cu. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25775 |
Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2017) |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Shchadinskaya_Osobennosti.PDF | 843.6 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.