| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Юник, А. Д. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-09-27T12:19:02Z | - |
| dc.date.available | 2017-09-27T12:19:02Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Юник, А. Д. Плазменный технологический модуль для нетермической активации вакуумно-плазменных процессов на базе разряда с эффектом полого катода / А. Д. Юник // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : сборник материалов 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 2–6 мая 2017 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2017. – С. 98–100. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25787 | - |
| dc.description.abstract | В настоящее время большой интерес представляет область вакуумной ионно-плазменной обработки материалов.
Это связано с тем, что применение методов ионно-плазменной обработки характеризуется большими технологическими
возможностями по изменению физико-химических и механических свойств поверхностей деталей и заготовок из
токопроводящих и диэлектрических материалов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | плазменные технологические модули | ru_RU |
| dc.subject | нетермическая активация | ru_RU |
| dc.subject | вакуумно-плазменные процессы | ru_RU |
| dc.subject | полые катоды | ru_RU |
| dc.title | Плазменный технологический модуль для нетермической активации вакуумно-плазменных процессов на базе разряда с эффектом полого катода | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2017)
|
