Разработать конструкции, изготовить и исследовать микроэлектромеханические резонаторы и оптические волноводы на основе КНИ-структур для интегральных микроэлектронных устройств : отчет о НИР (заключ.)

Бондаренко, В. П.; Редько, С. В.; Долгий, Л. Н.; Долгий, А. Л.; Абрамов, К. И.; Долгий, А. Л.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Бондаренко, В. П.	-
dc.contributor.author	Редько, С. В.	-
dc.contributor.author	Долгий, Л. Н.	-
dc.contributor.author	Долгий, А. Л.	-
dc.contributor.author	Абрамов, К. И.	-
dc.contributor.author	Долгий, А. Л.	-
dc.date.accessioned	2017-10-13T12:01:25Z	-
dc.date.available	2017-10-13T12:01:25Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Разработать конструкции, изготовить и исследовать микроэлектромеханические резонаторы и оптические волноводы на основе КНИ-структур для интегральных микроэлектронных устройств (заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель В. П. Бондаренко; отв. исполнитель С. В. Редько. – Минск, 2016. – 51 с. - № ГР 20142654	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 20142654	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26563	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	ГБЦ № 14-3020;;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.subject	резонаторы емкостного типа	ru_RU
dc.subject	интегральные волноводы	ru_RU
dc.title	Разработать конструкции, изготовить и исследовать микроэлектромеханические резонаторы и оптические волноводы на основе КНИ-структур для интегральных микроэлектронных устройств : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016