Разработать конструкцию и технологию изготовления компонент микроэлектромеханических систем (мэмс), использующих энергию горения наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.)

Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Ореховская, Т. И.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Лазарук, С. К.	-
dc.contributor.author	Долбик, А. В.	-
dc.contributor.author	Ореховская, Т. И.	-
dc.date.accessioned	2017-10-13T12:13:01Z	-
dc.date.available	2017-10-13T12:13:01Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Разработать конструкцию и технологию изготовления компонент микроэлектромеханических систем (мэмс), использующих энергию горения наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель С. К. Лазарук ; отв. исполнитель А. В. Долбик . – Минск , 2016. – 39 с. - № ГР 20142655	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 20142655	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26565	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	ГБЦ № 14-3022;;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.subject	электрохимическое анодирование	ru_RU
dc.title	Разработать конструкцию и технологию изготовления компонент микроэлектромеханических систем (мэмс), использующих энергию горения наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016