| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Родионов, Ю. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-10-16T07:24:59Z | - |
| dc.date.available | 2017-10-16T07:24:59Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Родионов, Ю. А. Базовые технологические процессы интегральных схем : метод. указания и контр. задания по дисц. «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел «Базовые технологические процессы интегральных схем») для студ. спец. I-42 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» заоч. и дист. форм обуч. / сост. Ю. А. Родионов. – Минск : БГУИР, 2007. – 18 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26612 | - |
| dc.description.abstract | В методических указаниях обобщены сведения по основным технологическим
процессам производства кремниевых дискретных приборов, интегральных схем и
МЭМС. Рабочая программа по данной дисциплине дополнена методическими
указаниями к ней, приводится перечень лабораторных работ и контрольные задания. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | кремниевые дискретные приборы | ru_RU |
| dc.subject | интегральные схемы | ru_RU |
| dc.title | Базовые технологические процессы интегральных схем : метод. указания и контр. задания по дисц. «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел «Базовые технологические процессы интегральных схем») для студ. спец. I-42 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» заоч. и дист. форм обуч. | ru_RU |
| dc.type | Книга | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
