https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26720| Title: | Технологическое проектирование интегральных схем. Программа SSuprem 4: учеб. пособие для курсов лекций и лаб. работ по дисц. “Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов”, “Основы САПР в микроэлектронике”, “Моделирование технологических процессов микроэлектроники” для студ. спец. 41 01 02 “Микро- и наноэлектронные технологии и системы”, 41 01 03 “Квантовые информационные системы” всех форм обучения |
| Authors: | Нелаев, В. В. Стемпицкий, В. Р. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;компьютерное моделирование;микроэлектроника |
| Issue Date: | 2004 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Нелаев В. В. Технологическое проектирование интегральных схем. Программа SSuprem 4: учеб. пособие для курсов лекций и лаб. работ по дисц. “Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов”, “Основы САПР в микроэлектронике”, “Моделирование технологических процессов микроэлектроники” для студ. спец. 41 01 02 “Микро- и наноэлектронные технологии и системы”, 41 01 03 “Квантовые информационные системы” всех форм обучения / В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий. – Минск : БГУИР, 2004. – 102 c.: ил. |
| Abstract: | В пособии приведено описание физических моделей, используемых в программном комплексе ATHENA фирмы Silvaco для компьютерного моделирования, проектирования и оптимизации технологических процессов формирования приборов микроэлектроники, а также технологического маршрута изготовления интегральной схемы в целом. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26720 |
| ISBN: | 985-444-556-9 |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Nelaev_2004.pdf | 2.54 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.