Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27492
Title: Разработать модели для расчета распределений примесных атомов после быстрого термического отжига имплантированных слоев кремния в условиях подавления скоротечной диффузии : отчет о НИР (заключ.)
Authors: Величко, О. И.
Аксенов, В. А.
Бурунова, О. Н.
Княжева, Н. В.
Гундорина, Е. А.
Issue Date: 2011
Publisher: БГУИР
Citation: Разработать модели для расчета распределений примесных атомов после быстрого термического отжига имплантированных слоев кремния в условиях подавления скоротечной диффузии : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель О. И. Величко ; отв. исполнитель В. А. Аксенов . - Минск , 2011 . – 95 с. - № ГР 20091365
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27492
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2011

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20091365 (09-050)_Рук_НИР_Величко.pdf
  Restricted Access
1.93 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.