https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27492
Title: | Разработать модели для расчета распределений примесных атомов после быстрого термического отжига имплантированных слоев кремния в условиях подавления скоротечной диффузии : отчет о НИР (заключ.) |
Authors: | Величко, О. И. Аксенов, В. А. Бурунова, О. Н. Княжева, Н. В. Гундорина, Е. А. |
Issue Date: | 2011 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Разработать модели для расчета распределений примесных атомов после быстрого термического отжига имплантированных слоев кремния в условиях подавления скоротечной диффузии : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель О. И. Величко ; отв. исполнитель В. А. Аксенов . - Минск , 2011 . – 95 с. - № ГР 20091365 |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27492 |
Appears in Collections: | Отчеты о НИР 2011 |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
№ ГР 20091365 (09-050)_Рук_НИР_Величко.pdf Restricted Access | 1.93 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.