Создание конструктивно-технологических основ элементной базы 3d механических устройств микро- и наносистем : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27537

Title:	Создание конструктивно-технологических основ элементной базы 3d механических устройств микро- и наносистем : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Тимошков, Ю. В. Курмашев, В. И. Сакова, А. А.
Issue Date:	2011
Publisher:	БГУИР
Citation:	Создание конструктивно-технологических основ элементной базы 3d механических устройств микро- и наносистем : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Ю. В. Тимошков ; отв. исполнитель В. И. Курмашев . – Минск , 2011 . – 121 с. - № ГР 20066836
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27537
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2011

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20066836 (06-3012).pdf Restricted Access		35.7 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy