Разработка научных основ и технологий ионно-плазменного формирования тонких пленок проводящих оксидов для использования в качестве электродов ячеек сегнетоэлектрических элементов памяти : отчет о НИР (заключ.)

Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Голосов, Д. А.	-
dc.contributor.author	Завадский, С. М.	-
dc.contributor.author	Мельников, С. Н.	-
dc.date.accessioned	2017-11-03T11:46:50Z	-
dc.date.available	2017-11-03T11:46:50Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Разработка научных основ и технологий ионно-плазменного формирования тонких пленок проводящих оксидов для использования в качестве электродов ячеек сегнетоэлектрических элементов памяти : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Д. А. Голосов; отв. исполнитель С. М. Завадский . – Минск , 2016. – 49 с. - № ГР 20142481	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 20142481	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27564	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	ГБЦ № 14-3023;;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.title	Разработка научных основ и технологий ионно-плазменного формирования тонких пленок проводящих оксидов для использования в качестве электродов ячеек сегнетоэлектрических элементов памяти : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016