Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования медных стержней в отверстиях с большим аспектным числом внутри кремниевых пластин, соединяющих эти пластины в 3d-структуры ИМС : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27760

Title:	Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования медных стержней в отверстиях с большим аспектным числом внутри кремниевых пластин, соединяющих эти пластины в 3d-структуры ИМС : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Хмыль, А. А. Кушнер, Л. К. Кузьмар, И. И. Богуш, Н. В. Бранцевич, В. К.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования медных стержней в отверстиях с большим аспектным числом внутри кремниевых пластин, соединяющих эти пластины в 3d-структуры ИМС : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. А. Хмыль ; отв. исполнитель Л. К. Кушнер.– Минск, 2014. – 45 с. - № ГР 20113907
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27760
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20113907 (11-3065)_Рук_НИР_Хмыль.pdf Restricted Access		7.09 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy