Разработать и освоить в производстве лазерную оптико-иммерсионную систему для формирования микро- и наноструктур : отчет о НИР (заключ.)

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Баранов, И. Л.	-
dc.contributor.author	Черных, А. Г.	-
dc.contributor.author	Зимин, А. Б.	-
dc.contributor.author	Тымощик, А. С.	-
dc.contributor.author	Чехута, А. К.	-
dc.contributor.author	Цуран, В. И.	-
dc.contributor.author	Богуш, А. Л.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T07:53:39Z	-
dc.date.available	2017-11-16T07:53:39Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Разработать и освоить в производстве лазерную оптико-иммерсионную систему для формирования микро- и наноструктур : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель И. Л. Баранов; отв. исполнитель А. Г. Черных . – Минск, 2014. – 65 с. - № ГР 20121088	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27793	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Разработать и освоить в производстве лазерную оптико-иммерсионную систему для формирования микро- и наноструктур : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014