Разработка и исследование магнитных систем источников ионов, источников плазмы и магнетронных распылительных устройств : отчет о НИР (заключ.)

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Котов, Д. А.	-
dc.contributor.author	Ясюнас, А. А.	-
dc.contributor.author	Комар, О. М.	-
dc.contributor.author	Роговский, Е. П.	-
dc.contributor.author	Савич, В. А.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T08:48:29Z	-
dc.date.available	2017-11-16T08:48:29Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Разработка и исследование магнитных систем источников ионов, источников плазмы и магнетронных распылительных устройств : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Д. А. Котов ; отв. исполнитель А. А. Ясюнас . – Минск , 2014. – 63 с. - № ГР 20130133	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27811	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Разработка и исследование магнитных систем источников ионов, источников плазмы и магнетронных распылительных устройств : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014