Разработка научных основ и технологии формирования полимерных и металлических микроструктур с высоким аспектным соотношением для создания элементов и сенсоров микроэлектромеханических систем : отчет о НИР (заключ.)

Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Тимошков, Ю. В.	-
dc.contributor.author	Курмашев, В. И.	-
dc.contributor.author	Сакова, А. А.	-
dc.contributor.author	Тимошков, В. Ю.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T09:20:39Z	-
dc.date.available	2017-11-16T09:20:39Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Разработка научных основ и технологии формирования полимерных и металлических микроструктур с высоким аспектным соотношением для создания элементов и сенсоров микроэлектромеханических систем : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Ю. В. Тимошков ; отв. исполнитель В. И. Курмашев . – Минск , 2014. – 34 с. - № ГР 20122085	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27829	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Разработка научных основ и технологии формирования полимерных и металлических микроструктур с высоким аспектным соотношением для создания элементов и сенсоров микроэлектромеханических систем : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014