Разработка процессов формирования микросхем для криогенных температур на основе наноструктурированных слоев оксидов вентильных металлов : отчет о НИР (заключ.)

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Короткевич, А. В.	-
dc.contributor.author	Биран, С. А.	-
dc.contributor.author	Чушкова, Д. И.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T11:18:56Z	-
dc.date.available	2017-11-16T11:18:56Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Разработка процессов формирования микросхем для криогенных температур на основе наноструктурированных слоев оксидов вентильных металлов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. В. Короткевич ; отв. исполнитель С. А. Биран . – Минск, 2014. – 73 с. - № ГР 20120396	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27847	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Разработка процессов формирования микросхем для криогенных температур на основе наноструктурированных слоев оксидов вентильных металлов : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014