Разработка физико-технологических основ создания гибридных технологических процессов нанесения тонкопленочных слоев с использованием комбинированных ионно-плазменных разрядов : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27865

Title:	Разработка физико-технологических основ создания гибридных технологических процессов нанесения тонкопленочных слоев с использованием комбинированных ионно-плазменных разрядов : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Завадский, С. М. Голосов, Д. А.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработка физико-технологических основ создания гибридных технологических процессов нанесения тонкопленочных слоев с использованием комбинированных ионно-плазменных разрядов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель С. М. Завадский ; отв. исполнитель Д. А. Голосов . – Минск , 2014. – 67 с. - № ГР 20121838
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27865
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20121838 (11-3056)_Рук_НИР_Завадский.pdf Restricted Access		2.23 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy