Разработка физико-технологических основ формирования интегрированных плёночных систем на основе силицид- и оксидобразующих металлов и нитрида кремния для конку-рентоспособных изделий полупроводниковой электроники : отчет о НИР (заключ.)

Баранов, В. В.; Фоменко, Н. К.; Россоловский, Е. Н.; Снитовский, Ю. П.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Баранов, В. В.	-
dc.contributor.author	Фоменко, Н. К.	-
dc.contributor.author	Россоловский, Е. Н.	-
dc.contributor.author	Снитовский, Ю. П.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T12:45:54Z	-
dc.date.available	2017-11-16T12:45:54Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Разработка физико-технологических основ формирования интегрированных плёночных систем на основе силицид- и оксидобразующих металлов и нитрида кремния для конку-рентоспособных изделий полупроводниковой электроники : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В .В. Баранов ; отв. исполнитель В. В. Баранов. – Минск, 2014. – 62 с. - № ГР 20113871	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27866	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Разработка физико-технологических основ формирования интегрированных плёночных систем на основе силицид- и оксидобразующих металлов и нитрида кремния для конку-рентоспособных изделий полупроводниковой электроники : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014