| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Вилья, Н. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
| dc.contributor.author | Окоджи, Д. Э. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-11-17T07:41:38Z | - |
| dc.date.available | 2017-11-17T07:41:38Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Формирование пленок оксида циркония методом реактивного магнетронного распыления / Н. Вилья и др. // Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы 12-й Международной конференции (Минск, 19 - 22 сентября 2017 г.). – Минск: Изд. центр БГУ, 2017. – C. 438 – 440. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27911 | - |
| dc.description.abstract | Проведены исследования возможности использования аморфных пленок оксида циркония (ZrO2) в качестве high-k диэлектрика для МДП полевых транзисторов. Пленки оксида циркония наносились методом реактивного магнетронного распыления металлической мишени. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь и ширины запрещенной зоны от содержания кислорода в Ar/O2 смеси газов в процессе нанесения пленок оксида циркония. Без нагрева подложек и последующего отжига получены пленки оксида циркония с диэлектрической проницаемостью ε = 9 – 14, тангенсом угла диэлектрических потерь tgφ = 0.05 – 0.09 на частоте 1.0 МГц и шириной оптической запрещенной зоны 5.67 – 5.87 эВ. Оптимум концентрации кислорода в процессе нанесения пленок составляет около 17 %. При данной концентрации кислорода пленки характеризуются сравнительно хорошим значением диэлектрической проницаемости, низким значением tgφ и большой шириной запрещенной зоны. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | оксид циркония | ru_RU |
| dc.subject | МДП полевые транзисторы | ru_RU |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.title | Формирование пленок оксида циркония методом реактивного магнетронного распыления | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
