| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Золотухин, Д. Б. | - |
| dc.contributor.author | Бурдовицин, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Тюньков, А. В. | - |
| dc.contributor.author | Юшков, Ю. Г. | - |
| dc.contributor.author | Окс, Е. М. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-11-17T09:10:15Z | - |
| dc.date.available | 2017-11-17T09:10:15Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Реактивные методы осаждения пленок оксидов титана / Д. Б. Золотухин и др. // Успехи прикладной физики. – 2017. – T. 5, № 5. – С. 442 – 452. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27923 | - |
| dc.description.abstract | Обзор посвящен анализу преимуществ и недостатков существующих реактивных методов осаждения пленок оксида титана. Особое внимание уделено традиционным методам - магнетронному распылению в атмосфере активных газов и вакуумно-дуговому осаждению, а также обсуждаются возможности реактивного электронно-лучевого испарения, в том числе альтернативного электронно-лучевого испарения титана в форвакууме (1-15 Па) в атмосфере кислорода с последующим осаждением паров на подложку. Показано, что к преимуществам электронно-лучевого испарения в форвакууме следует отнести простоту реализации и возможность получения стехиометрических пленок TiO2, причем при более высокой скорости осаждения и меньшем энергопотреблении. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Россия | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | оксид титана | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.subject | коэффициент преломления | ru_RU |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.title | Реактивные методы осаждения пленок оксидов титана | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
