https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28803| Title: | Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии |
| Authors: | Солодуха, В. А. Белоус, А. И. |
| Keywords: | публикации ученых;кремниевая пластина;нарушенный слой;оже-электроны;глубина нарушений |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Белорусский государственный технический университет |
| Citation: | Солодуха, В. А. Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии / В. А. Солодуха, А. И. Белоус // Наука и техника. – 2016. – № 4(15). – С. 329 – 334. – DOI: 10.21122/2227-1031-2016-15-4-329–334. |
| Abstract: | Предложен метод измерения глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин, основанный на использовании оже-спектрометра с прецизионным распылением поверхностных слоев кремния и регистрацией интенсивности выхода оже-электронов. Для измерения глубины нарушенного слоя с помощью оже-спектроскопии снимается зависимость количества выходящих оже-электронов от времени распыления (профиль), и затем эта зависимость анализируется. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28803 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Solodukha_Izmereniye.pdf | 565.01 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.