| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Солодуха, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Омельченко, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Жигулин, Д. В. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкая, Т. В. | - |
| dc.contributor.author | Соловьев, Я. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T08:43:33Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T08:43:33Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Влияние быстрой термообработки на оптические параметры кремния / В. А. Солодуха и др. // Современные информационные и электронные технологии: Международная научно-практическая конференция (Одесса, 22 — 26 мая 2017 г.). – Одесса: Политехпериодика. – С. 73 – 74. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28811 | - |
| dc.description.abstract | Представлены результаты исследования влияния быстрой термической обработки на оптические характеристики поверхности кремниевых пластин, концентрацию кислорода в кремнии и распределение толщины естественного оксида по поверхности пластины. Показана возможность использования метода эллипсометрии для оценки совершенства приповерхностного слоя кремния по анализу его оптических характеристик. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | «Политехпериодика» | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | коэффициент экстинкции | ru_RU |
| dc.subject | концентрация кислорода | ru_RU |
| dc.subject | толщина естественного оксида | ru_RU |
| dc.title | Влияние быстрой термообработки на оптические параметры кремния | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
