| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кушнер, Л. К. | - |
| dc.contributor.author | Степанова, Л. И. | - |
| dc.contributor.author | Кузьмар, И. И. | - |
| dc.contributor.author | Хмыль, А. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-01-18T11:04:44Z | - |
| dc.date.available | 2018-01-18T11:04:44Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Металлизация отверстий при формировании трехмерных микроструктур / Л. К. Кушнер и др. // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. – 2017. – Т. 17. – № 2. – С. 554 – 557. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29385 | - |
| dc.description.abstract | Определены оптимальные составы растворов для химической и электрохимической металлизации TSV-отверстий и режимы осаждения в зависимости от размеров отверстий. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | РФ | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | электрохимическая металлизация TSV-отверстий | ru_RU |
| dc.subject | нестационарный электролиз | ru_RU |
| dc.title | Металлизация отверстий при формировании трехмерных микроструктур | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
