| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Григорук, Н. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-14T08:21:47Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-14T08:21:47Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Григорук, Н. А. Прецизионные методы оперативного контроля толщины тонких пленок в процессе их создания : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 03 / Н. А. Григорук ; науч. рук. Ю. А. Родионов. - Минск : БГУИР, 2018. - 7 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30459 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | прецизионные методы | ru_RU |
| dc.subject | оперативный контроль | ru_RU |
| dc.subject | толщина тонких пленок | ru_RU |
| dc.title | Прецизионные методы оперативного контроля толщины тонких пленок в процессе их создания | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)
|
