| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Циркунова, Н. Г. | - |
| dc.contributor.author | Соловьев, Я. А. | - |
| dc.contributor.author | Сергеев, О. В. | - |
| dc.contributor.author | Борисенко, В. Е. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-04-10T12:22:54Z | - |
| dc.date.available | 2018-04-10T12:22:54Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.citation | Формирование острия кремниевых зондов для сканирующих зондовых микроскопов / Н. Г. Циркунова и другие // Доклады БГУИР. - 2005. - № 3 (11). - С. 59 - 64. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30939 | - |
| dc.description.abstract | Проведены исследования и разработана методика формирования кремниевых зондов с тре-
буемой конфигурацией острия для сканирующих зондовых микроскопов. Зонды создавали
на пластинах монокристаллического кремния с ориентацией (100) и (111). Установлено, что
анизотропное селективное жидкостное травление (травитель для кремния с ориентацией
(100) — 5% водный раствор КОН, для кремния с ориентацией (111) — раствор
HF:HNO3:CH3COOH), как и плазмохимическое травление кремния в среде SF6,
по отдельности не могут обеспечить формирование острия зондов с параметрами на уровне
мировых аналогов. Только их комбинация в сочетании с использованием многослойной
маски дает возможность получать зонды с заданными параметрами. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | зондовые датчики | ru_RU |
| dc.subject | технология изготовления зондов | ru_RU |
| dc.subject | СЗМ | ru_RU |
| dc.title | Формирование острия кремниевых зондов для сканирующих зондовых микроскопов | ru_RU |
| dc.title.alternative | Formation of silicon tips for scanning probe microscopes | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | №3 (11)
|
