Исследование объемного роста пленок пористого оксида алюминия

Abstract

В работе исследованы основные закономерности объемного роста пленок пористого оксида алюминия в зависимости от плотности тока, напряжения анодирования и температуры электролита. Пористое анодирование пленок алюминия проводили в 4 %-ном растворе щавелевой кислоты в гальваностатическом режиме в диапазоне плотностей тока 1,6–4,8 мА/см2 при изменении температуры электролита от 16 до 26°С. С помощью профилометра с компьютерной обработкой сигнала исследован профиль границ раздела структур алюминий– пористый оксид алюминия; алюминий–подложка. Установлено, что коэффициент объемного роста пористого оксида алюминия определяется значением напряжения анодирования. Определено, что эта зависимость имеет линейный характер.