| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Квасов, Н. Т. | - |
| dc.contributor.author | Сологуб, Л. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-05-03T09:28:52Z | - |
| dc.date.available | 2018-05-03T09:28:52Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.citation | Квасов, Н. Т. Структурные превращения в кремнии и оценка остаточной деформации при ионной имплантации примеси / Н. Т. Квасов, Л. В. Сологуб // Доклады БГУИР. - 2008. - № 1 (31).- С. 82 - 86. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31335 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены физические основы и применение неразрушающего метода линзовой акустической микроскопии для оценки остаточной деформации в решетке кремния при радиационном облучении, а также механизмы диссипации энергии волны, получена формула расчета деформации кристаллической решетки, модельно представлены этапы структурных изменений в кремнии в результате ионной имплантации примеси. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | напряженно-деформированное состояние | ru_RU |
| dc.subject | дефектно-примесная система | ru_RU |
| dc.subject | ультразвуковая волна | ru_RU |
| dc.subject | деформация решетки | ru_RU |
| dc.subject | доза легирования | ru_RU |
| dc.subject | дислокационные конфигурации | ru_RU |
| dc.subject | диссипация | ru_RU |
| dc.title | Структурные превращения в кремнии и оценка остаточной деформации при ионной имплантации примеси | ru_RU |
| dc.title.alternative | Structural modifications in the silicon and estimate deformation during ion implantation | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | №1 (31)
|
