https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31438
Title: | Создание и управление системой стабильных самоорганизующихся наноразмерных кластеров германия и твердого раствора Si-Ge |
Authors: | Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Кузнецов, Д. Ф. Воронец, Я. С. |
Keywords: | материалы конференций;химическое осаждение;моносилан;наноструктурированные пленки;нанокластеры;силан;дисилан;трисилан |
Issue Date: | 2018 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Создание и управление системой стабильных самоорганизующихся наноразмерных кластеров германия и твердого раствора Si-Ge / А. А. Ковалевский и др. // BIG DATA Advanced Analytics: collection of materials of the fourth international scientific and practical conference, Minsk, Belarus, May 3 – 4, 2018 / editorial board: М. Batura [etc.]. – Minsk, BSUIR, 2018. – Р. 187 – 192. |
Abstract: | Важным параметром создание и получение наноструктурированных пленок это выбор компонентов. Дисилан и трисилан имея слабые связи, из-за которых происходит развал молекул с образование активных радикалов SiH2 обеспечивает формирование супертонких наноструктурированных пленок с малым размером кристаллитов (<100 нм). Установлено, что с точки зрения молекулярно-кинетических свойств радикалы силен (SiH2) и гермен (GeH2) являются самыми эффективным переносчиками кремния и германия к подложке, на которой происходит формирование структурных элементов супертонких пленок поликристаллического кремния. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31438 |
Appears in Collections: | BIG DATA and Advanced Analytics. Использование BIG DATA для оптимизации бизнеса и информационных технологий (2018) |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Kovalevskiy_Sozdaniye.PDF | 808.21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.