Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31438
Title: Создание и управление системой стабильных самоорганизующихся наноразмерных кластеров германия и твердого раствора Si-Ge
Authors: Ковалевский, А. А.
Строгова, А. С.
Кузнецов, Д. Ф.
Воронец, Я. С.
Keywords: материалы конференций;химическое осаждение;моносилан;наноструктурированные пленки;нанокластеры;силан;дисилан;трисилан
Issue Date: 2018
Publisher: БГУИР
Citation: Создание и управление системой стабильных самоорганизующихся наноразмерных кластеров германия и твердого раствора Si-Ge / А. А. Ковалевский и др. // BIG DATA Advanced Analytics: collection of materials of the fourth international scientific and practical conference, Minsk, Belarus, May 3 – 4, 2018 / editorial board: М. Batura [etc.]. – Minsk, BSUIR, 2018. – Р. 187 – 192.
Abstract: Важным параметром создание и получение наноструктурированных пленок это выбор компонентов. Дисилан и трисилан имея слабые связи, из-за которых происходит развал молекул с образование активных радикалов SiH2 обеспечивает формирование супертонких наноструктурированных пленок с малым размером кристаллитов (<100 нм). Установлено, что с точки зрения молекулярно-кинетических свойств радикалы силен (SiH2) и гермен (GeH2) являются самыми эффективным переносчиками кремния и германия к подложке, на которой происходит формирование структурных элементов супертонких пленок поликристаллического кремния.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31438
Appears in Collections:BIG DATA and Advanced Analytics. Использование BIG DATA для оптимизации бизнеса и информационных технологий (2018)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kovalevskiy_Sozdaniye.PDF808.21 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.