https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31580| Title: | Однородное осаждение никеля в поры упорядоченного тонкого оксида алюминия |
| Authors: | Воробьева, А. И. Уткина, Е. А. Комар, О. М. |
| Keywords: | публикации ученых |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | Москва |
| Citation: | Воробьева, А.И. Однородное осаждение никеля в поры упорядоченного тонкого оксида алюминия / А. И. Воробьева, Е. А. Уткина, О. М. Комар // Микроэлектроника. - 2013. - Т. 42, № 2. - С. 105-115. DOI: 10.7868/S0544126913010079 |
| Abstract: | Рассматривается процесс получения матрицы упорядоченных, вертикально ориентированных никелевых наностолбиков с использованием шаблона из пористого оксида алюминия (ПОА). Обсуждается влияние процесса утонения барьерного слоя на дне пор ПОА на зарождение и рост упорядоченных металлических наностолбиков. Методом атомно-силовой микроскопии исследованы морфологические параметры наностолбиков Ni, полученных в различных режимах. Исследованы кинетические закономерности и условия электрохимического осаждения никеля в заготовку пористого оксида алюминия. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31580 |
| ISSN: | 0544-1269 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Vorobyeva_Odnorodnoye.pdf | 1.04 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.